等离子废气净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等离子废气净化器采用了的吸附-分解-碳化离心式抽风安装新工艺技术设计,采用标准模块设计等优点,是一种干法处理有机废气的净化设备。它改变了使用活性碳材料的工艺技术，无需处理原料，无需专人负责，不产生二次污染，换及维护保养方便。

等离子净化器主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，顶部放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、高强度、活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。

等离子废气净化器的特点：

1、处理效果好，在额定处理风量小。

2、二次油回收量大、纯度高，可在短期内收回设备投资。

3、性能高，设备带有完善的电气保护功能。

4、模块式结构、多电源控制，在部分电源停止工作的情况下不影响设备使用。

5、容易清洗维护，只需打开设备检修门取出电场浸泡冲洗就可以。

6、具有放电跳停、电源过载保护和变压器过温保护、设备。

7、精密的圆筒蜂巢电场，能使设备具有的除油雾效果。